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全自動單片晶圓清洗機,自動晶圓清洗機,晶圓清洗機

應用領域RCA清洗,沉積前清洗,蝕刻后清洗,CMP后清洗,濕法刻蝕,EPI前清洗等晶圓尺寸:50~300mm工藝指標蝕刻均勻性:片內:≤3%;片間:≤3%;批次間:≤3%;顆粒控制:增加值<20顆@0.2微米金屬離子:<5E10 atoms/cm2設備配置2-6個清洗工位(單工位的全自動版本開發中)全自動潔凈晶圓機械手中央化學藥液供應系統:CDS,支持化學液加熱控制,濃度控制,流量控制

圖片關鍵詞

應用領域

RCA清洗,沉積前清洗,蝕刻后清洗,CMP后清洗,濕法刻蝕,EPI前清洗等晶圓

尺寸:50~300mm

工藝指標

蝕刻均勻性:片內:≤3%;片間:≤3%;批次間:≤3%;

顆粒控制:增加值<20顆@0.2微米

金屬離子:<5E10 atoms/cm2

設備配置

2-6個清洗工位(單工位的全自動版本開發中)

全自動潔凈晶圓機械手

中央化學藥液供應系統:CDS,支持化學液

加熱控制,濃度控制,流量控制,壓力控制等

兆聲波清洗系統30W:0.1微米以下顆粒

酸、堿、有機液排風分離

支持化學液回收

高清攝像頭,純水防靜電裝置(可選)

全面支持SECS/GEM通訊協議


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