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晶圓單片清洗甩干機,晶圓單片清洗機,晶圓雙面清洗甩干機,單片濕法清洗機,二流體清洗機

1、設備概況1.1應用領域:單片清洗甩干機是高潔凈度清洗甩干設備, 具有高速甩干,快速烘干,效率高的特點,不同晶圓尺寸,可通過快速更換甩干頭來實現。其主要用于兼容4-12寸晶圓半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的刷洗干燥工藝。具有成本低,快速應用生產等優點。1.2名稱:單片清洗甩干機1.3型號:QXG-300-4YDN2、主要結構特征單片清洗甩干機主要伺服電機,PLC控制器,人機界面,高潔凈閥門,

圖片關鍵詞


1、設備概況

1.1應用領域:單片清洗甩干機是高潔凈度清洗甩干設備, 具有高速甩干,快速烘干,效率高的特點,不同晶圓尺寸,可通過快速更換甩干頭來實現。其主要用于兼容4-12寸晶圓半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的刷洗干燥工藝。具有成本低,快速應用生產等優點。

1.2名稱:單片清洗甩干機

1.3型號:QXG-300-4YDN

2、主要結構特征

單片清洗甩干機主要伺服電機PLC控制器,人機界面,高潔凈閥門,PFA管,氮氣加熱器,防腐蝕進口PP外殼以及甩干頭部分組成。

2.1材質:進口PP板,能夠滿足潔凈室工作環境。

2.2專用伺服電機,可實現每分鐘10-5000轉,低速均勻清洗,高速離心甩干。

2.3工業PLC控制器和人機界面,穩定可靠控制各個部件,直觀可視化操作模式。

3、主要技術參數

項目

主要性能指標和參數

加工尺寸

兼容4-12寸晶圓

單次甩干數量

1

位數量(個)

1

機臺上下片方式

手動上下片

旋轉速度 RPM/MIN

10-5000rpm可設定 轉速精度<1rpm

清洗方式

雙面PVA刷洗/兆聲清洗/N2氮氣吹干

藥液數量

1種

藥液噴嘴

上下兩面 獨立供液

藥液槽

1個 10L PVDF藥液槽

適用藥液類型

NH40H或其他清洗藥液

供藥方式

PVDF磁力泵或壓控閥

藥液流量調節

PFA手閥 10ml-1000ml/min

藥液流量監控

PVA刷布局

上下各一個

PVA刷尺寸

長度170mm內徑31mm外徑70 mm

DIW水沖洗

DI水流量調節

PFA手閥 10ml-1000ml/min

兆聲波噴頭

吹氣功能

帶錐形和扇形噴嘴可更換

清洗甩干時間

2-5min

氮氣壓力

0.15Mpa,氮氣管接口1/4英寸

純水壓力

0.15Mpa 管接口3/8mm

排水管

2路φ20mm(水 藥液1)

顯示/控制系統

7寸觸摸屏+PLC可編程控制器

管路材料

PFA

電源

220V

整機功率

3KW

外型尺寸(深*寬*高)mm

660mm*寬760mm*高1332mm



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